蔡司提高了X射线显微镜的测量精度(一）
发布时间：2020-09-25 10:07:08作者：来源：点击：
组件的小型化和集成推动了对高分辨率计量学的不断增长的需求。当需要接触来测量触觉和光学测量系统无法达到的零件特性时，尤其如此。在最近的一次在线研讨会上，蔡司通过其Xradia Versa X射线显微镜介绍了对亚微米细节的无损洞察的全新领域，从而“使无形可见”。现在，借助蔡司为其Xradia 620/520 Versa提供的计量扩展（MTX）新产品，尺寸测量的精度远远超过了传统X射线计算机断层扫描（CT）技术的极限。传统的X线断层扫描依赖于几何放大的单个阶段，而Xradia Versa具有基于高分辨率光学器件的独特的两阶段处理。
加上MTX，用户将受益于高分辨率X射线成像和高精度计量技术，在小于125 mm3的重建立方体积中，小尺寸的测量精度得到了验证。通过简单的校准，可以实现（1.9 + L / 100）μm的最大允许误差（MPE）值，蔡司表示，这将为工业制造和研究中的X射线显微镜开辟一个全新的应用领域。
亚微米级的精确测量
通过蔡司X射线技术获得的业界最高的分辨率和最清晰的对比度，已经使亚微米级的完整样本检测成为可能，包括在受控环境中对微结构进行非破坏性表征的原位成像。蔡司工业计量学X射线质量解决方案经理Herminso Gomez说：“小型设备中组件的小型化和集成正在引起对工业制造中高分辨率计量学的日益增长的需求。” “通过添加用于蔡司Xradia Versa X射线显微镜的计量扩展，用户现在拥有了世界上最精确的CT计量套件。”
