传统上，坐标测量机(CMM)通常配备触摸式触发探头，该触发式探头将在预定位置接触部件，一次采用一个测量点。虽然这种方法有利于确保高度准确的测量数据，但对于具有严格的期限或高尚生产目标的制造商来说，它并不理想。作为回应，各种传感器被引入市场，提供不同水平的能力。

　　与传统的触发式测量相比，这些新型传感器类别中的一种扫描探头可以更快地检测零件。CMM沿着零件轮廓移动探头，一次捕获数千个点。扫描探针对于评估零件特征(如形状，位置和尺寸)特别有效。

　　与触发式探测方法相比，扫描探针还可以显着缩短测量周期时间。但是，对于具有困难几何形状或多种材料类型的零件，激光线扫描仪可以更好地灵活地捕获表面形状特征并生成点云，而无需物理接触零件。该传感器类别使制造商能够获得零件的3D视点以研究截面并提取某些特征。

　　所有这些传感器选项都在市场中占有一席之地，但每种不同的方法都会牺牲速度，灵活性或准确性，具体取决于探头。对于某些应用来说，触觉探测可能会很慢，而激光扫描仪通常不够准确，无法满足当今具有挑战性的公差要求。这些现实带来了频率调制干涉测量光学距离测量的另一种传感器演变。

　　这种非接触式光学传感系列结合了速度，可达性和距离测量精度。干涉测量提供与触觉扫描探针相当的准确性和可靠性，更高的扫描速度，更高的测量范围和非接触式测量的一般光学优势。当速度很重要时，这是高精度触觉测量的下一代替代方案，使用触觉探针难以接近零件，或者零件可能因触摸探测而变形或损坏。

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